由開山上海通用機械研究院自主研發的離心式雙介質氣體組合壓縮機日前在江蘇某全球領先的集成電路制造企業順利完成調試并投入使用，各項參數達到設計要求，獲得用戶好評。
眾所周知，半導體行業八大核心材料中，電子氣體是僅次于硅的主要原材料，其在半導體晶圓制造材料價值中的占比為13.5%。電子氣體在電子產品制造工藝中廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相、沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”。電子半導體器件的性能優劣與電子氣體的質量息息相關，而高純度/超高純度氮是電子氣體中極其重要的成員之一，其在惰性保護、載氣、特種氣體、管道吹掃排氣、稀釋、等離子注入等半導體生產工藝環節中都是不可或缺的原料氣和工藝氣。而離心式雙介質氣體組合壓縮機組則是高純氮生產工藝中的核心裝備。長期以來其該類型壓縮機市場一直由美國企業所壟斷。
本次成功投運的機組是開山制造、完全自主知識產權的國產首臺套該類型壓縮機，其使用于一世界500強國際知名氣體公司的制氮系統之中，這也是這家企業首次與中國壓縮機廠商進行合作。本次投運成功，極大的提升了該公司高純氮制備系統的市場競爭力。這是雙方四年共同努力的結果。
與此同時，兩套運用于國產高純氮制備系統的該類型壓縮機調試工作也已收尾，各項參數達到設計需求，甚至部分參數超越了設計需求.
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過去二十年里，開山持續在核心技術上進行大強度投入，逐步在螺桿、透平、往復等各類型壓縮機、膨脹機、真空泵等諸多領域構建起一定技術優勢。在目前“國產化”需求日益高漲的背景之下，這種技術優勢使得我們的中國用戶不僅不會因“國產化”去犧牲所需設備的品質，反而“國產化”后獲得了更可靠的產品質量和更低的能源消耗。而對于我們的國際用戶則是發現以開山為代表的中國裝備為他們帶來了更大的獲益。本次離心式雙介質氣體組合壓縮機的投運成功只是前述文字一個小小的例證吧。